台北 2026 年 8 月 19 日
因應先進封裝及高精密製程設備的需求，億仕登精密系統（ISDN Precision System）將於 2026 台北國際自動化工業大展推出兩項新品，包括專為後段封裝開發的「ApexTwin™ MFF 雙龍門高速精密平台」，以及針對真空製程設備開發的「真空薄型高精密模組」，從大尺寸基板製程到真空環境下的精密定位，展現億仕登精密系統在線性馬達、精密運動控制及機電整合上的產品布局。
- 雙龍門並行架構，ApexTwin™ 對應大尺寸先進封裝不同於單龍門架構，ApexTwin™ 採用雙龍門並行設計，可同時執行兩組製程循環，提高設備運行效率。平台搭配億仕登自製線性馬達，並整合以色列高階運動控制器形成雙驅動架構，展現六軸同步控制能力，並達到 50ms @ 0.1 mm in ±300 nm 的整定表現。
- 振動控制亦納入設計之中，ApexTwin™ 搭配倉敷化工 (KURASHIKI KAKO）Type-C 主動式除振台，過濾外界振動。
- 真空薄型高精密模組，單軸最薄 33mm 對應有限空間此模組針對半導體及醫療等真空製程設備開發。由於真空環境缺乏空氣對流，運動元件運行時產生的熱能不易排出，熱管理成為影響設備穩定性的因素之一。
- 億仕登精密系統將線性馬達散熱技術導入模組設計，在有限散熱條件下維持穩定運作。模組單軸最薄 33 mm，可應用於設備內部安裝空間有限的高精密設備，例如晶圓檢測對位、晶圓研磨前精密對位，以及醫療植體真空鍍膜精密對位等應用。
億仕登精密系統誠摯邀請產業賢達於 8 月 19 日至 8 月 22 日蒞臨南港展覽館一館 1F（攤位：K628）了解更多資訊及共同探索先進製程的未來商機，現場將有專業技術團隊提供解說與技術諮詢。
新加坡億仕登控股集團 (SGX: I07) 自 1987 年成立以來，深耕工業自動化領域近 40 年，憑藉深厚的運動控制與專業工程實力，在東南亞建立堅實市場地位，旗下近百家子公司遍布亞洲，成功攜手萬家客戶完成無數大型自動化專案。
億仕登精密系統（ISDN Precision System）在台研發、生產線性馬達、高精密平台，為高精密產業提供專案導向的機電整合設計服務。從亞洲核心出發，迅速開展國際網絡，精準服務國內外每一位客戶。
億仕登精密系統針對先進封裝提供哪些高精密運動平台？
億仕登精密系統針對先進封裝設備提供 ApexTwin™ MFF 雙龍門高速精密平台，採雙龍門並行架構，可同步執行兩組製程循環，適用於大尺寸基板及後段封裝應用。
ApexTwin™ MFF 雙龍門高速精密平台適合哪些應用？
ApexTwin™ MFF 適用於後段封裝及大尺寸基板製程，如覆晶封裝、扇出型封裝、混合鍵合、2.5D/3D 封裝、Micro LED 巨量轉移與組裝。
ApexTwin™ MFF 的精度與動態性能如何？
ApexTwin™ MFF 的整定時間可達 50 ms @ 0.1 mm in ±300 nm，並具備雙驅動及六軸同步控制能力，適合高速、高精度的先進封裝設備。
億仕登精密系統有針對真空製程開發高精密模組嗎？
有。億仕登精密系統開發真空薄型高精密模組，針對半導體及醫療等真空製程設備設計，單軸最薄可達 33 mm，適合設備內部安裝空間有限的高精密應用。
億仕登真空薄型高精密模組可以應用在哪些設備？
億仕登精密系統的真空薄型高精密模組可應用於晶圓檢測對位、晶圓研磨前精密對位，以及醫療植體真空鍍膜精密對位等真空製程設備。
億仕登精密系統可以為設備商提供哪些高精密運動技術？
億仕登精密系統以線性馬達為核心，整合精密運動控制、除振制振管理（主動式除振台、被動式除振台）與機電整合技術，提供從核心運動元件到高精密平台的產品與解決方案，協助設備商因應不同製程需求。