![[新品] CKLA 95V Series 真空薄型高精密模組](https://www.isdn-precision.com/archive/image/product1/images/95vbig01.png)
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[新品] CKLA 95V Series 真空薄型高精密模組
商品簡述：
- 真空度等級 10⁻⁸ mbar10-8 mbar
- 單軸最薄僅 33mm
- 線性馬達散熱技術
- 使用交叉滾柱導軌、真空相容材料
- 搭配特規薄型無鐵心式線性馬達
檔案下載
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億仕登精密系統將於 2026 台北國際自動化工業大展展出
現場將實績展出此項新品。誠摯邀請產業賢達於 8 月 19 日至 8 月 22 日蒞臨南港展覽館一館1F（攤位：K628）了解新品資訊與技術應用，現場將有專業技術團隊為您解說。
- 獨步線性馬達散熱技術在真空、缺乏空氣對流的環境，線性馬達溫升控制穩定，長時間運作下能減輕熱累積。
- 奈米級定位精度、運動平穩、維護少交叉滾柱導軌的運動摩擦力變化極小，運動平順，可達奈米級定位；結構剛性高，可配合垂直負載、側向力、扭矩作動。
- 使用真空相容材料採用真空相容材料及元件，降低材料釋氣與污染風險，確保模組於真空環境中維持穩定運行與高精度定位能力。
- 搭配特規薄型無鐵心式線性馬達單軸最薄僅 33mm，體積小，有助安裝於空間受限的儀器設備。微型堆疊結構，可單軸使用、XY 軸組配。
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- 熱門應用高精密晶圓檢測對位、晶圓研磨前精密對位、醫療植體真空鍍膜精密對位等。
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高度客製，若有其他規格需求請隨時與 ISDN Precision System 聯繫。
左右尚有資訊重複精度 (μm) ±0.5 直線度 (μm) ±2 平面度 (μm) ±4 有效行程 (mm) 36 最大加速度 (m/s2) 3 最大速度 (m/s) 0.1 負重能力* (kg) 5 * 負重能力依運動速度不同而異
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產品介紹
億仕登精密系統將於 2026 台北國際自動化工業大展展出
現場將實績展出此項新品。誠摯邀請產業賢達於 8 月 19 日至 8 月 22 日蒞臨南港展覽館一館1F（攤位：K628）了解新品資訊與技術應用，現場將有專業技術團隊為您解說。
- 獨步線性馬達散熱技術在真空、缺乏空氣對流的環境，線性馬達溫升控制穩定，長時間運作下能減輕熱累積。
- 奈米級定位精度、運動平穩、維護少交叉滾柱導軌的運動摩擦力變化極小，運動平順，可達奈米級定位；結構剛性高，可配合垂直負載、側向力、扭矩作動。
- 使用真空相容材料採用真空相容材料及元件，降低材料釋氣與污染風險，確保模組於真空環境中維持穩定運行與高精度定位能力。
- 搭配特規薄型無鐵心式線性馬達單軸最薄僅 33mm，體積小，有助安裝於空間受限的儀器設備。微型堆疊結構，可單軸使用、XY 軸組配。
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- 熱門應用高精密晶圓檢測對位、晶圓研磨前精密對位、醫療植體真空鍍膜精密對位等。
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規格說明
高度客製，若有其他規格需求請隨時與 ISDN Precision System 聯繫。
左右尚有資訊重複精度 (μm) ±0.5 直線度 (μm) ±2 平面度 (μm) ±4 有效行程 (mm) 36 最大加速度 (m/s2) 3 最大速度 (m/s) 0.1 負重能力* (kg) 5 * 負重能力依運動速度不同而異