9 軸 TGV 晶圓檢測解決方案
商品簡述：
- 弧形線性馬達中空旋轉台
- 9 軸位置誤差 < 3 μm
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TGV 晶圓瑕疵檢測這是一項極具挑戰的客製專案，要完整講解技術細節，可能需要一場專題簡報（！）歡迎與我們交流。
客戶是高精密設備大廠，擁有成熟的視覺軟體能力，卻在第一代硬體架構遭遇瓶頸——億仕登接手的第二代開發案，必須成功！
系統架構- 上層：3 軸取像模組
- 中層：3 軸中空旋轉台
- 下層：3 軸 X-Ray 光源模組
取像模組與 X-Ray 需精準對位中空旋轉台，並透過 Z 軸調整倍率，完成 TGV 晶圓瑕疵檢測。
達成挑戰- 弧形線性馬達中空旋轉台實現 > 360° 連續旋轉、無須復歸。旋轉平面度 ±15 μm。
- 9 軸位置誤差 < 3 μm9 軸分屬不同座標系，當大圓弧旋轉時，三大模組的中心位置必須一致，誤差 < 3 μm。
- 大圓弧連續旋轉如何避免電線纏繞？整體精度表現？走何種通訊架構？使用什麼上控？非花崗岩架構？
- 開發歷程很精采，歡迎聯繫業務與我們交流。
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技術細節、整體精度表現，歡迎聯繫業務了解詳情。
左右尚有資訊
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產品介紹TGV 晶圓瑕疵檢測這是一項極具挑戰的客製專案，要完整講解技術細節，可能需要一場專題簡報（！）歡迎與我們交流。
客戶是高精密設備大廠，擁有成熟的視覺軟體能力，卻在第一代硬體架構遭遇瓶頸——億仕登接手的第二代開發案，必須成功！
系統架構- 上層：3 軸取像模組
- 中層：3 軸中空旋轉台
- 下層：3 軸 X-Ray 光源模組
取像模組與 X-Ray 需精準對位中空旋轉台，並透過 Z 軸調整倍率，完成 TGV 晶圓瑕疵檢測。
達成挑戰- 弧形線性馬達中空旋轉台實現 > 360° 連續旋轉、無須復歸。旋轉平面度 ±15 μm。
- 9 軸位置誤差 < 3 μm9 軸分屬不同座標系，當大圓弧旋轉時，三大模組的中心位置必須一致，誤差 < 3 μm。
- 大圓弧連續旋轉如何避免電線纏繞？整體精度表現？走何種通訊架構？使用什麼上控？非花崗岩架構？
- 開發歷程很精采，歡迎聯繫業務與我們交流。
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規格說明
技術細節、整體精度表現，歡迎聯繫業務了解詳情。
左右尚有資訊