XYZ Theta 高精密龍門
商品簡述：
- 搭配被動式除振系統
- 電控盤體規劃，一站式整合交付
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- 8 吋晶圓 AOI 檢測應用在晶圓製程中，從微裂、刮傷、孔洞到異物汙染，只要漏掉任何一個瑕疵，將影響良率與成本。因此，龍門的運行精度、穩定度、抗振性便成了 AOI 檢測機的關鍵基礎。硬體條件完備，再結合 AI 與影像處理技術，才能真正提升瑕疵檢出率。配置億仕登精密系統 ISKM Series 無鐵心式線性馬達，高定位精度，運行平穩。
- 被動式除振系統降低外部振動，確保影像成像品質與量測穩定性。
- 電控盤體規劃，一站式整合交付電控配盤、線路配置、外罩與箱體一併規劃交機。
- 交機後技術支援調機、測試、參數調整一條龍服務，確保設備穩定運行。
- 此為億仕登精密系統根據客戶需求進行設計、製圖、組裝、精度量測的 ODM 實例。
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高度客製，若有其他規格需求請隨時與 ISDN Precision System 聯繫。
左右尚有資訊有效行程 (mm) Y軸 (下軸) 1100；X 軸 (上軸) 600；Theta 軸 150 重複精度 (μm) ±0.5 直線度 (μm) ±3 平面度 (μm) ±3
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產品介紹
- 8 吋晶圓 AOI 檢測應用在晶圓製程中，從微裂、刮傷、孔洞到異物汙染，只要漏掉任何一個瑕疵，將影響良率與成本。因此，龍門的運行精度、穩定度、抗振性便成了 AOI 檢測機的關鍵基礎。硬體條件完備，再結合 AI 與影像處理技術，才能真正提升瑕疵檢出率。配置億仕登精密系統 ISKM Series 無鐵心式線性馬達，高定位精度，運行平穩。
- 被動式除振系統降低外部振動，確保影像成像品質與量測穩定性。
- 電控盤體規劃，一站式整合交付電控配盤、線路配置、外罩與箱體一併規劃交機。
- 交機後技術支援調機、測試、參數調整一條龍服務，確保設備穩定運行。
- 此為億仕登精密系統根據客戶需求進行設計、製圖、組裝、精度量測的 ODM 實例。
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規格說明
高度客製，若有其他規格需求請隨時與 ISDN Precision System 聯繫。
左右尚有資訊有效行程 (mm) Y軸 (下軸) 1100；X 軸 (上軸) 600；Theta 軸 150 重複精度 (μm) ±0.5 直線度 (μm) ±3 平面度 (μm) ±3