緊湊型高精密 XY 平台
商品簡述：
- 交叉滾柱導軌
- 微型堆疊結構
-
- 12 吋晶圓對位應用交叉滾柱導軌搭配無鐵心式線性馬達，運動摩擦力變化極小，速度漣波極低，提供穩定的運動表現，成為晶圓對位設備精度表現的關鍵基礎。
- 微型堆疊結構設備內部空間，需同時滿足前後左右移動需求，並可自行整合 Theta 軸，且須預留足夠的行走空間。緊湊型高精密平台為微型堆疊結構設計，專為安裝空間受限、精度要求嚴苛的設備儀器打造。
-
高度客製，若有其他規格需求請隨時與 ISDN Precision System 聯繫。
左右尚有資訊Y軸（下軸） X軸（上軸） 重複精度 (μm) ±1 ±1 直線度 (μm) ±3 ±3 平面度 (μm) ±3 ±3 有效行程 (mm) 28 28 最大速度 (m/s) 0.5 0.5
-
產品介紹
- 12 吋晶圓對位應用交叉滾柱導軌搭配無鐵心式線性馬達，運動摩擦力變化極小，速度漣波極低，提供穩定的運動表現，成為晶圓對位設備精度表現的關鍵基礎。
- 微型堆疊結構設備內部空間，需同時滿足前後左右移動需求，並可自行整合 Theta 軸，且須預留足夠的行走空間。緊湊型高精密平台為微型堆疊結構設計，專為安裝空間受限、精度要求嚴苛的設備儀器打造。
-
規格說明
高度客製，若有其他規格需求請隨時與 ISDN Precision System 聯繫。
左右尚有資訊Y軸（下軸） X軸（上軸） 重複精度 (μm) ±1 ±1 直線度 (μm) ±3 ±3 平面度 (μm) ±3 ±3 有效行程 (mm) 28 28 最大速度 (m/s) 0.5 0.5