



Z 軸氣缸制動定位模組
商品簡述:
- 重複精度 ±0.5μm
- 氣缸制動機構
- 奈米級定位驅動系統
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凡是需要奈米級控制的垂直運動,且承載高價值工件,同時不能冒停機墜落風險的工作場域,此款 Z 軸高精密定位模組是最佳選擇。
- 氣缸制動機構低摩擦氣缸配重,搭配精密調壓閥,當斷電、氣源中斷或發生異常時將自動鎖定 Z 軸位置,避免工件下墜,確保設備及人員安全,並維持運行中的精度與穩定度。
- 奈米級定位驅動系統搭配高解析度光學尺,透過線性馬達直接驅動,實現亞微米甚至奈米級的垂直定位控制。
- 低干擾結構設計制動機構與導向系統分離,確保制動時不影響平台的運動精度與光學量測結果,特別適合高穩定性加工與檢測需求。
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高度客製,若有其他規格需求請隨時與 ISDN Precision System 聯繫。
左右尚有資訊行程 (mm) 150 直線度 (μm) ± 2 Yaw (μm) ± 2 重複精度 (μm) ± 0.5 速度 (m/s) 0.1
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產品介紹
凡是需要奈米級控制的垂直運動,且承載高價值工件,同時不能冒停機墜落風險的工作場域,此款 Z 軸高精密定位模組是最佳選擇。
- 氣缸制動機構低摩擦氣缸配重,搭配精密調壓閥,當斷電、氣源中斷或發生異常時將自動鎖定 Z 軸位置,避免工件下墜,確保設備及人員安全,並維持運行中的精度與穩定度。
- 奈米級定位驅動系統搭配高解析度光學尺,透過線性馬達直接驅動,實現亞微米甚至奈米級的垂直定位控制。
- 低干擾結構設計制動機構與導向系統分離,確保制動時不影響平台的運動精度與光學量測結果,特別適合高穩定性加工與檢測需求。
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規格說明
高度客製,若有其他規格需求請隨時與 ISDN Precision System 聯繫。
左右尚有資訊行程 (mm) 150 直線度 (μm) ± 2 Yaw (μm) ± 2 重複精度 (μm) ± 0.5 速度 (m/s) 0.1